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http://dspace.mediu.edu.my:8181/xmlui/handle/10261/5098| Title: | Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcódigos de barras y de marcas en chips con láser |
| Keywords: | Microcódigos de barras Láser |
| Description: | Referencia OEPM: P200201114 .-- Fecha de solicitud: 16/05/2002.-- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). El objeto de esta invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación. Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip Peer reviewed |
| URI: | http://dspace.mediu.edu.my:8181/xmlui/handle/10261/5098 |
| Other Identifiers: | Publication nr.: ES 2195786 B1 ES 2195786 B1 http://hdl.handle.net/10261/5098 |
| Appears in Collections: | Digital Csic |
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