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http://dspace.mediu.edu.my:8181/xmlui/handle/10261/5098Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.creator | Lozano Fantoba, Manuel | - |
| dc.creator | Perelló García, Carles | - |
| dc.creator | Enrich Sard, Xavier | - |
| dc.creator | Santander Vallejo, Joaquín | - |
| dc.date | 2008-06-13T12:40:20Z | - |
| dc.date | 2008-06-13T12:40:20Z | - |
| dc.date | 2005-03-16 | - |
| dc.date.accessioned | 2017-01-31T01:41:31Z | - |
| dc.date.available | 2017-01-31T01:41:31Z | - |
| dc.identifier | Publication nr.: ES 2195786 B1 | - |
| dc.identifier | ES 2195786 B1 | - |
| dc.identifier | http://hdl.handle.net/10261/5098 | - |
| dc.identifier.uri | http://dspace.mediu.edu.my:8181/xmlui/handle/10261/5098 | - |
| dc.description | Referencia OEPM: P200201114 .-- Fecha de solicitud: 16/05/2002.-- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). | - |
| dc.description | El objeto de esta invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación. Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip | - |
| dc.description | Peer reviewed | - |
| dc.format | 351271 bytes | - |
| dc.format | application/pdf | - |
| dc.language | spa | - |
| dc.rights | openAccess | - |
| dc.subject | Microcódigos de barras | - |
| dc.subject | Láser | - |
| dc.title | Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcódigos de barras y de marcas en chips con láser | - |
| dc.type | Patente | - |
| Appears in Collections: | Digital Csic | |
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