المستودع الأكاديمي جامعة المدينة

Procedimiento de fotoenmascaramiento de poliimidas fotosensibles con compuestos organometálicos para procesos fotolitográficos en tecnología de silicio

أعرض تسجيلة المادة بشكل مبسط

dc.creator Muñoz Pascual, Francisco Javier
dc.creator Domínguez, Carlos
dc.date 2008-06-09T12:03:04Z
dc.date 2008-06-09T12:03:04Z
dc.date 2001-03-16
dc.date.accessioned 2017-01-31T01:36:53Z
dc.date.available 2017-01-31T01:36:53Z
dc.identifier Publication nr.: ES 2146128 B1
dc.identifier ES 2146128 B1
dc.identifier http://hdl.handle.net/10261/4910
dc.identifier.uri http://dspace.mediu.edu.my:8181/xmlui/handle/10261/4910
dc.description Referencia OEPM: P9500645.-- Fecha de solicitud: 31/03/1995.-- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC).
dc.description Es un proceso fotolitográfico monocapa sobre topografías irregulares que se basa en la silanización superficial de los grupos metacrilato del ácido poliámico precursor de la poliimida fotosensible para que actúen como máscara ante el revelado por plasma en modo RIE, con oxígeno como gas reactivo. El proceso permite la obtención de motivos positivos o negativos, con respecto a la máscara, utilizando los mismos precursores fotosensibles ya que esto depende únicamente de la secuencia con que se realicen los pasos de exposición y silanización. Este proceso puede aplicarle a la fotodefinición de capas poliméricas de cualquier espesor. Aplicación en la encapsulación se sensores químicos, módulos multichip, tecnología microelectrónica, sectores electrónicos, óptica integrada.
dc.description Peer reviewed
dc.format 176115 bytes
dc.format application/pdf
dc.language spa
dc.rights openAccess
dc.subject Fotoenmascaramiento
dc.subject Polimidas fotosensibles
dc.subject Compuestos organometálicos
dc.title Procedimiento de fotoenmascaramiento de poliimidas fotosensibles con compuestos organometálicos para procesos fotolitográficos en tecnología de silicio
dc.type Patente


الملفات في هذه المادة

الملفات الحجم الصيغة عرض

لا توجد أي ملفات مرتبطة بهذه المادة.

هذه المادة تبدو في المجموعات التالية:

أعرض تسجيلة المادة بشكل مبسط